近日,湖南省工信廳發(fā)布了2024年度第一批“湖南省省級工業(yè)新產(chǎn)品”名單,金嶺機床自主研制的JL-CMP56 超精密半導體智能研磨拋光機被認定為“湖南省省級工業(yè)新產(chǎn)品”,進一步展現(xiàn)了公司在超精密設備領域的創(chuàng)新實力。
△2024年度第一批“湖南省省級工業(yè)新產(chǎn)品”名單
據(jù)了解,“湖南省省級工業(yè)新產(chǎn)品”是湖南省工業(yè)和信息化廳為大力實施“三高四新”戰(zhàn)略定位和使命任務,強化企業(yè)技術創(chuàng)新,鼓勵和支持企業(yè)新產(chǎn)品開發(fā)和應用,培育發(fā)展新動能所設立的項目。
本次認定的新產(chǎn)品是金嶺機床自主研發(fā)的超精密半導體智能研磨拋光機,其各項性能指標達到行業(yè)水平。可適用于半導體材料、光學材料、藍寶石材料、陶瓷材料、硅、鍺等材料多片式或大片式晶圓的研磨和拋光。
JL-CMP56 超精密半導體智能研磨拋光機
01 功能特點
1.設備機身采用鑄件床身,四軸四工位設計,濕式拋光工藝;
2.采用標準四軸機床數(shù)控系統(tǒng)和面板,確保加工晶圓的精度;
3.精密下盤和壓力盤具有冷卻水循環(huán)系統(tǒng),控制拋光時的盤面溫度,保證拋光質(zhì)量;
4.每組打磨主軸配置獨立的RTCP功能,能方便快捷地實現(xiàn)對拋光加工時的參數(shù)監(jiān)控與控制;
5.通過更換不同的耗材磨料,能同時去除材料紋刀紋、并且具備拋光、精拋光功能于一體;
6.電氣、氣動元件采用國際品牌,如SEW減速機、SMC&CKD氣缸、三菱PLC、三菱伺服電機、三菱觸摸屏等,噪音小,控制穩(wěn)定。
02 性能指標
1.加工模式:四工件同時加工;
2.控制系統(tǒng):四軸聯(lián)動數(shù)字控制系統(tǒng);
3.運動組件:四軸伺服(X.Y.Z.A*4);
4.絕緣強度:1KV,50HZ;
5.設備潤滑方式:系統(tǒng)自動潤滑。
03 技術參數(shù)
04 應用案例
金嶺機床為東旭集團超薄柔性電子玻璃生產(chǎn)線(我國首條UTG產(chǎn)線)提供的“四軸精密拋光機上下料機器人工作站”,是金嶺機床科技創(chuàng)新的又一杰出成果。該工作站具有高效、精準、穩(wěn)定等特性,能夠大幅提升生產(chǎn)效率,降低運營成本,幫助企業(yè)實現(xiàn)數(shù)字化轉型和智能化升級。
用自己的設備 創(chuàng)制造業(yè)奇跡
金嶺機床深耕高硬脆材料和高性能研磨拋光材料領域多年,已經(jīng)形成一批擁有自主知識產(chǎn)權、國際國內(nèi)有名品牌、較高附加值和市場競爭力的創(chuàng)新型產(chǎn)品。尤其在第三代半導體晶圓研磨拋光應用領域,已取得多項關鍵性技術突破,部分產(chǎn)品已處于國際地位。
作為國內(nèi)出色的數(shù)控切削機床和新能源智能裝備系統(tǒng)解決方案提供商,金嶺機床自成立以來,堅持產(chǎn)品創(chuàng)新,著力于實現(xiàn)關鍵技術國產(chǎn)化、工藝優(yōu)化、生產(chǎn)智能化,公司產(chǎn)品自主可控化率達到85%以上,有效實現(xiàn)了關鍵裝備國產(chǎn)化。
目前,金嶺機床已經(jīng)擁有自主研發(fā)的五軸聯(lián)動數(shù)控機床、關鍵功能部件、高檔專用數(shù)控系統(tǒng)三大類產(chǎn)品和柔性自動化產(chǎn)線系統(tǒng),產(chǎn)品廣泛應用于汽車、航空航天、精密電子、碳素材料、軌導交通、工程機械、職業(yè)院校等重點領域。真正做到了“用自己的設備,創(chuàng)制造業(yè)奇跡”。
此次入選湖南省省級工業(yè)新產(chǎn)品名單,再次充分證明金嶺機床在技術創(chuàng)新開發(fā)方面的優(yōu)勢。未來,公司將繼續(xù)立足于國家所需、行業(yè)所趨,堅持以技術創(chuàng)新為本,專注裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,緊跟行業(yè)發(fā)展和客戶需求,不斷推動國產(chǎn)裝備發(fā)展取得新突破,指引設備迭代升級和系統(tǒng)能力提升,以更加專業(yè)的產(chǎn)品推動中國制造業(yè)健康發(fā)展,為打造國家重要先進制造業(yè)高地貢獻更多“金嶺力量”。